項(xiàng)目名稱：集成電路用高純氫氟酸關(guān)鍵技術(shù)及裝備開發(fā)（一）提名者及提名等級(jí)1.提名者：焦作市人民政府   2.提名等級(jí)：河南省科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)貳等獎(jiǎng)（二）主要知識(shí)產(chǎn)權(quán)和標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范目錄知識(shí)產(chǎn)權(quán)（標(biāo)準(zhǔn)）類別知識(shí)產(chǎn)權(quán)（標(biāo)準(zhǔn)）具體名稱國家（地區(qū)）授權(quán)號(hào)（標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)）授權(quán)日期（標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布日期）證書編號(hào)（標(biāo)準(zhǔn)批準(zhǔn)發(fā)布部門）權(quán)利人（標(biāo)準(zhǔn)起草單位）發(fā)明人（標(biāo)準(zhǔn)起草人）專利（標(biāo)準(zhǔn)）有效狀態(tài)發(fā)明專利一種無水氟化氫的除雜方法...